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光刻機(jī)被卡,當(dāng)中國(guó)芯片突圍戰(zhàn)遭遇了瓦森納協(xié)議

超級(jí)學(xué)爸 · 2019-11-10 · 來(lái)源:超級(jí)學(xué)媽
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當(dāng)前的局勢(shì),必須充分考慮各種困難,做好最壞的打算。長(zhǎng)遠(yuǎn)角度看,必須加快國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的研發(fā),從根本上解決卡脖子的問(wèn)題。

  兒子最近迷上了墨菲定律,簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是“怕什么就來(lái)什么”。所以這成了他努力的動(dòng)力源之一,怕老師提問(wèn),所以要提前好好準(zhǔn)備。

光刻機(jī)被卡,當(dāng)中國(guó)芯片突圍戰(zhàn)遭遇了瓦森納協(xié)議

  當(dāng)前,中國(guó)的偉大復(fù)興到了最后的爬坡階段,而芯片突圍戰(zhàn)無(wú)疑是其中最艱難的關(guān)口,我最擔(dān)心的兩個(gè)環(huán)節(jié),一個(gè)是臺(tái)積電,一個(gè)是光刻機(jī)。

  然而昨天,墨菲定律再次應(yīng)驗(yàn),那就是光刻機(jī)環(huán)節(jié)出了問(wèn)題。世界唯一的先進(jìn)光刻機(jī)供應(yīng)商ASML近日宣布,推遲向中芯國(guó)際交付極紫外光刻機(jī)(EUV)。

光刻機(jī)被卡,當(dāng)中國(guó)芯片突圍戰(zhàn)遭遇了瓦森納協(xié)議

  光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一,沒(méi)有光刻機(jī),無(wú)論多么先進(jìn)的電路設(shè)計(jì),只能停留在圖紙上。而EUV光刻機(jī)能否如期交貨,直接牽涉到中芯國(guó)際的工藝能否進(jìn)入7納米。

  目前,中芯國(guó)際經(jīng)過(guò)苦苦追趕,投入了上百億美元的研發(fā)經(jīng)費(fèi),已經(jīng)成功攻克了14納米工藝,并且已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),可以滿足大部分芯片的生產(chǎn)。

  但是如果再提升工藝制程到10納米以內(nèi),那么中芯國(guó)際手里現(xiàn)有的光刻機(jī)(DUV)已經(jīng)滿足不了精度要求了,必須要購(gòu)進(jìn)更先進(jìn)的EUV光刻機(jī)。

  2018年初,貿(mào)易戰(zhàn)突然爆發(fā),中興瞬間被KO,中芯國(guó)際也感受到了空前危機(jī),所以在2018年5月,以1.2億美元的價(jià)格,向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī)。

  這臺(tái)光刻機(jī)原定于2019年初交付,結(jié)果2018年12月臨近交貨,ASML突然著了一場(chǎng)大火,很多元件及生產(chǎn)線被毀,2019年的供貨被順延,中芯國(guó)際的貨被延期到了年底。

光刻機(jī)被卡,當(dāng)中國(guó)芯片突圍戰(zhàn)遭遇了瓦森納協(xié)議

  然而快到年底了,EUV再生變故,要推遲交付。原因是什么?日媒給出的原因是——ASML受到了來(lái)自美國(guó)的壓力。

  但是ASML很快把這鍋甩給了荷蘭政府。說(shuō)2019年6月就遞交了出口申請(qǐng),但是遲遲未能得到荷蘭政府的批復(fù)。

  那么問(wèn)題來(lái)了,全球化時(shí)代,一個(gè)荷蘭公司向中國(guó)出口商品,為什么要得到荷蘭政府的批準(zhǔn)呢?這就不得不提瓦森納協(xié)定(又名瓦森納協(xié)議,瓦森納安排)。

  瓦森納協(xié)定是當(dāng)今世界上管制常規(guī)軍品和兩用(軍用和民用)物項(xiàng)和技術(shù)的唯一的多邊機(jī)制,成員包括世界主要武器生產(chǎn)國(guó)和出口國(guó),對(duì)非會(huì)員國(guó)實(shí)行出口限制。

  瓦森納協(xié)定的前身,是成立于1949年的巴黎統(tǒng)籌委員會(huì),簡(jiǎn)稱巴統(tǒng),是美國(guó)攛掇其北約盟友建立起來(lái)的出口管制機(jī)構(gòu),管制對(duì)象主要是蘇聯(lián)社會(huì)主義集團(tuán)和新中國(guó)。

  從名字上來(lái)看,巴統(tǒng)設(shè)在巴黎,但實(shí)際上設(shè)立在美國(guó)駐法大使館的一角,是美國(guó)主導(dǎo)的進(jìn)行技術(shù)冷戰(zhàn)的主要工具,管制清單基本跟美國(guó)的出口管制標(biāo)準(zhǔn)如出一轍,美國(guó)擁有否決權(quán)。

  雖然巴統(tǒng)被美國(guó)綁架,但是內(nèi)部并非鐵板一塊,盟友們禁不住經(jīng)濟(jì)誘惑,不愿意執(zhí)行過(guò)于嚴(yán)厲的出口管制標(biāo)準(zhǔn)。

  比如挪威,雖然也是北約國(guó)家和巴統(tǒng)成員,但也禁不住利潤(rùn)的誘惑,悄悄地向蘇聯(lián)提供火炮自動(dòng)瞄準(zhǔn)計(jì)算機(jī)等多項(xiàng)違禁技術(shù)交易。

  還有日本,也禁不住暴利的誘惑,向蘇聯(lián)出口高精度機(jī)床。這就是冷戰(zhàn)期間,對(duì)西方國(guó)家安全危害最大的軍用敏感高科技走私案件之一———東芝事件。

  東芝公司禁不住蘇聯(lián)的高價(jià)誘惑,向蘇聯(lián)出口了四臺(tái)先進(jìn)的數(shù)控機(jī)床,幫助蘇聯(lián)大大降低了潛艇的噪音。事發(fā)之后,東芝遭到了美國(guó)的嚴(yán)厲制裁。

  蘇聯(lián)解體后,冷戰(zhàn)結(jié)束,世界形勢(shì)緩和,巴統(tǒng)的主要對(duì)象已經(jīng)不復(fù)存在了,巴統(tǒng)存在的意義也大打折扣。

  由于世界形勢(shì)緩和,各國(guó)都大幅度削減軍費(fèi),軍火銷售遭遇斷崖式下跌,軍工企業(yè)吃不飽,所以只能拼命瓜分國(guó)際市場(chǎng),加上大家對(duì)美國(guó)濫用否決權(quán)的不滿,所以迫不及待要求解散巴統(tǒng)。

  這時(shí)候,俄羅斯的葉利欽一邊倒地倒向了西方,所以美國(guó)挑頭,跟俄羅斯以及自己的幾個(gè)主要盟友——英、法、德等國(guó),商量一個(gè)新的出口管制機(jī)制,來(lái)代替巴統(tǒng)。

  這個(gè)新機(jī)制就是瓦森納協(xié)定,經(jīng)過(guò)三年?duì)幊持?,?996年在奧地利的維也納成立,創(chuàng)始會(huì)員國(guó)高達(dá)33個(gè)。

  由于吃夠了美國(guó)否決權(quán)的苦,所以大家在新機(jī)制上都一致抗美,最終美國(guó)不得不放棄了否決權(quán),由各國(guó)自主決定是否出口相關(guān)物品和技術(shù)。

  但是美國(guó)還留了一手,那就是通過(guò)信息交流程序,及時(shí)掌握全球的先進(jìn)武器和先進(jìn)技術(shù)走向,必要的時(shí)候通過(guò)各種外交手段,進(jìn)行施壓或者阻撓。

  第一,成員國(guó)向非成員國(guó)出口管制清單中的項(xiàng)目,事后應(yīng)當(dāng)詳細(xì)通報(bào)相關(guān)信息,包括出口對(duì)象、物品數(shù)量、收貨人信息、最終用途等。如果拒絕了出口申請(qǐng),也要通報(bào)。

  第二,非成員國(guó)向成員國(guó)發(fā)起并購(gòu)活動(dòng)時(shí),成員國(guó)也應(yīng)當(dāng)進(jìn)行信息通報(bào),包括購(gòu)買方公司的信息、收購(gòu)?fù)緩胶瞳@取辦法、專門技術(shù)的使用信息,是否為敏感的最終用戶、并購(gòu)結(jié)果等。

  也就是說(shuō),俄羅斯向中國(guó)出售蘇27、蘇30、蘇35戰(zhàn)機(jī)以及S400防空導(dǎo)彈系統(tǒng)時(shí),按照瓦森納協(xié)議的規(guī)定,事后俄羅斯是要通報(bào)的,具體數(shù)據(jù)真不真實(shí)就不得而知了。

  雖然說(shuō)許可證由當(dāng)事國(guó)自主決定,但是各個(gè)國(guó)家除了俄羅斯,都得唯美國(guó)馬首是瞻,不然得罪了美國(guó)沒(méi)有好下場(chǎng),美國(guó)得到情報(bào)會(huì)使用外交手段施壓。

  2004年1月,捷克批準(zhǔn)了向中國(guó)出口價(jià)值6000萬(wàn)美元的維拉雷達(dá)系統(tǒng)許可證,這個(gè)項(xiàng)目談了好幾年,雙方都很滿意。

  結(jié)果到了2004年的5月19日,捷克突然取消了這筆交易,并解釋說(shuō)是應(yīng)“偉大朋友”的要求而做出的決定,說(shuō)該雷達(dá)能幫助中國(guó)探測(cè)到美國(guó)的隱形飛機(jī)。

  幾天后,美國(guó)國(guó)務(wù)院證實(shí),說(shuō)美國(guó)的確與捷克政府討論了中國(guó)問(wèn)題,并且為捷克做出這個(gè)決定而感到高興,這決定遵守了歐盟在武器出口方面的禁令。

光刻機(jī)被卡,當(dāng)中國(guó)芯片突圍戰(zhàn)遭遇了瓦森納協(xié)議

  2006年,我國(guó)與意大利的阿萊尼亞空間公司,簽署了幫助意大利發(fā)射衛(wèi)星的協(xié)議。美國(guó)得知后,向意大利進(jìn)行外交施壓,最后意大利沒(méi)辦法,取消了已經(jīng)簽好的協(xié)議。

光刻機(jī)被卡,當(dāng)中國(guó)芯片突圍戰(zhàn)遭遇了瓦森納協(xié)議

  瓦森納協(xié)定的成員國(guó)目前有42個(gè):歐洲大部分國(guó)家,包括俄羅斯、烏克蘭、土耳其、立陶宛,以及亞洲的日本、韓國(guó)和印度,還有南非、阿根廷、澳大利亞和新西蘭等。

光刻機(jī)被卡,當(dāng)中國(guó)芯片突圍戰(zhàn)遭遇了瓦森納協(xié)議

  簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),瓦森納協(xié)定成員國(guó),就是整個(gè)發(fā)達(dá)國(guó)家和準(zhǔn)發(fā)達(dá)國(guó)家,或者稍稍微有點(diǎn)工業(yè)底子的發(fā)展中國(guó)家(印度、墨西哥)。

  可以說(shuō)瓦森納協(xié)定成員國(guó),鎖定了人類的幾乎所有的先進(jìn)技術(shù)。也就是說(shuō)這個(gè)瓦森納協(xié)定之外,除了制造業(yè)增加值占地球29%的中國(guó)以外,幾乎都是落后的農(nóng)業(yè)國(guó)。

  瓦森納協(xié)定按照擴(kuò)散風(fēng)險(xiǎn)的大小,及其安全關(guān)切程度,將出口目的國(guó)(或地區(qū))分為五個(gè)組別,中國(guó)被列在D等級(jí),僅僅優(yōu)于E級(jí)的敘利亞、蘇丹、古巴、伊朗和朝鮮等國(guó)。

  由此可以看出,在蘇聯(lián)解體之后,美國(guó)主導(dǎo)的瓦森納協(xié)定,幾乎就是針對(duì)中國(guó)的,沉重地打擊了氣焰一度囂張的“造不如買、買不如租”的國(guó)內(nèi)買辦勢(shì)力。

  簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),如果歐洲讓我們用伽利略系統(tǒng),我們可能就沒(méi)了北斗;如果美國(guó)不限制黑鷹直升機(jī),我們可能就沒(méi)了直20;如果美國(guó)不限制F22或F35,我們可能就沒(méi)了殲20。

  美國(guó)主導(dǎo)的瓦森納協(xié)定,幫助中國(guó)軍工企業(yè)爭(zhēng)取到了大量經(jīng)費(fèi),也成了中國(guó)高科技企業(yè)的保護(hù)傘,沒(méi)有他們的禁運(yùn),國(guó)內(nèi)的高科技可能都發(fā)展不起來(lái)。

  還是太祖的那句話:讓他們封鎖吧,封鎖個(gè)十年八年,中國(guó)的所有問(wèn)題都解決了。

  為啥中國(guó)的汽車行業(yè)不發(fā)達(dá)?我看主要是因?yàn)樗麄儾幌拗瞥隹冢覀兡苜I得到。

  美國(guó)主導(dǎo)的瓦森納協(xié)定,給我們帶來(lái)了大量的貿(mào)易順差。他們這不賣、那不賣,導(dǎo)致了中美、中歐貿(mào)易失衡,中國(guó)積攢了大量的外匯儲(chǔ)備。

  美國(guó)主導(dǎo)的瓦森納協(xié)定管制清單,其實(shí)就是中國(guó)的一個(gè)任務(wù)清單,只要把列表中的任務(wù)完成,中國(guó)就打了通關(guān),挑戰(zhàn)成功,榮升擂主。

  回到集成電路領(lǐng)域,其實(shí)在上世紀(jì)80年代,我們的技術(shù)并不是那么落后,但是國(guó)外的公司禁不住利潤(rùn)的誘惑,殺入了中國(guó)市場(chǎng),中國(guó)原有的電子工業(yè)體系,被沖得七零八落。

  比如上世紀(jì)80年代,由于西方對(duì)中國(guó)EDA領(lǐng)域軟件出口上的限制,國(guó)內(nèi)的芯片設(shè)計(jì)行業(yè)面臨了嚴(yán)重的危機(jī)。

  1986年,國(guó)家動(dòng)員全國(guó)17家單位,200多位專家齊聚原北京集成電路設(shè)計(jì)中心,開發(fā)自己的EDA系統(tǒng),并將其命名為“熊貓系統(tǒng)”。

  熊貓EDA系統(tǒng)1993年面試,并且獲得了國(guó)家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng),使中國(guó)成為國(guó)際上為數(shù)極少的可以提供自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)EDA工具的國(guó)家之一。

  然后一看中國(guó)有了自己的EDA工具了,美國(guó)就放開了出口限制,最后熊貓EDA系統(tǒng)市場(chǎng)逐漸被壓縮,國(guó)產(chǎn)EDA的發(fā)展陷入了停滯階段。

  再說(shuō)光刻機(jī)。1977年,我國(guó)最早的光刻機(jī)GK-3型半自動(dòng)光刻機(jī)在上海光學(xué)機(jī)械廠誕生,這是一臺(tái)接觸式光刻機(jī),這時(shí)候光刻機(jī)巨頭ASML還沒(méi)出現(xiàn)。

  1982年科學(xué)院109廠的KHA-75-1光刻機(jī),在當(dāng)時(shí)的水平并不低,最保守估計(jì)跟當(dāng)時(shí)最先進(jìn)的Canon光刻機(jī)相比,差距最多也就不到4年。

光刻機(jī)被卡,當(dāng)中國(guó)芯片突圍戰(zhàn)遭遇了瓦森納協(xié)議

  然而到了80年代后期,隨著改革開放的深入,一大批企業(yè)紛紛以“貿(mào)工技”為指導(dǎo)思想,拋棄了“獨(dú)立自主,自力更生”的指導(dǎo)方針,盲目對(duì)外開放。

  這時(shí)中國(guó)的集成電路產(chǎn)業(yè),沒(méi)有頂層設(shè)計(jì),在科研、教育以及產(chǎn)業(yè)方面出現(xiàn)了嚴(yán)重脫節(jié),中國(guó)獨(dú)立的科研體系和產(chǎn)業(yè)體系被摧毀,產(chǎn)業(yè)變成了組裝廠,軟件工程變成了廉價(jià)碼農(nóng)。

  由于90年代的外交三大恥,中國(guó)重新認(rèn)識(shí)到自主創(chuàng)新的重要性,所以中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主意識(shí)再次蘇醒,再次走上了追趕世界先進(jìn)水平的道路。

  中星微的鄧中翰于1999年回國(guó),中芯的張汝京于2000年來(lái)到大陸,展訊的武平和陳大同于2001年回國(guó),芯原股份的戴偉民于2002年回國(guó),兆易電子的朱一明于2004年回國(guó)……

  2002年,上海微電子承擔(dān)了十五規(guī)劃中光刻機(jī)的攻關(guān)項(xiàng)目。至2016年,上海微電子已經(jīng)量產(chǎn)90納米,65納米正在進(jìn)行測(cè)試,2020年要拿下28納米的工程樣品機(jī)。

  2018年還有個(gè)好消息,成都光電所采用了表面等離子體(SP)光刻技術(shù),研制了一臺(tái)新型光刻機(jī),光刻分辨率達(dá)到了22納米,結(jié)合多重曝光技術(shù),可以加工10納米級(jí)別的芯片。

  但這技術(shù)目前還不成熟,不適合量產(chǎn),目前只能加工特種芯片,大家不要抱太大希望。總之,在光刻機(jī)技術(shù)上,與國(guó)外先進(jìn)水平至少有三四代的差距。

  一個(gè)比較有利的消息,隨著物理尺寸的極限,摩爾定律逐漸失效了,領(lǐng)跑團(tuán)隊(duì)進(jìn)步的步伐慢了下來(lái),給了我們追擊的好機(jī)會(huì)。

  但是在這期間,我們不得不依賴荷蘭的ASML光刻機(jī)。荷蘭能不能抗住壓力呢?我感覺(jué)很困難,因?yàn)镋UV光刻機(jī)中,核心裝置——激光光源和激光器電源都來(lái)自美國(guó)。

  而這些器件,均受到美國(guó)出口管制。也就是說(shuō)ASML也不得不看美國(guó)的臉色,要得到美國(guó)出口許可。

  目前ASML說(shuō)是推遲到了2020年交付,但是夜長(zhǎng)夢(mèng)多,形勢(shì)依然不樂(lè)觀,只要是沒(méi)有到貨,還會(huì)有諸多變數(shù)。

  EUV光刻機(jī)不到貨,中芯國(guó)際只能止步14納米工藝,那么國(guó)內(nèi)的先進(jìn)芯片的制造,只能依賴臺(tái)積電了。

  因此,當(dāng)前的局勢(shì),必須充分考慮各種困難,做好最壞的打算。長(zhǎng)遠(yuǎn)角度看,必須加快國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的研發(fā),從根本上解決卡脖子的問(wèn)題。

  而眼下,應(yīng)該著力于對(duì)美國(guó)的反制措施,比如稀土、數(shù)字貨幣、不可靠實(shí)體清單,讓美國(guó)不敢輕易打光刻機(jī)牌和臺(tái)積電牌。

  寫到這里我感慨萬(wàn)千。此次時(shí)刻,我只想替?zhèn)ゴ笞鎳?guó)說(shuō)一句話:我太難了!

  在這樣的背景下,中國(guó)的高科技能追成這樣,實(shí)屬不易,中國(guó)偉大復(fù)興成色十足!

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